[发明专利]一种硅基OLED微显示器的制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基OLED微显示器的制备方法，包括：将包含有电极的硅基CMOS驱动电路的基板进行清洗并烘干；对基板进行阳极镀膜并涂覆上第一特性的光刻胶后，使用第一掩膜版对第一特性的光刻胶进行曝光显影，以在基板上形成第一光刻胶保护层；对基板依次进行阳极工艺后，将第一光刻胶保护层和阳极工艺中产生的正性光刻胶均去除，使得电极上存在有阳极保护层；针对包含有阳极保护层的基板执行生产相关加工工序；在基板上涂覆第二特性的光刻胶，并在涂覆完成后使用第二掩膜版进行曝光显影，刻蚀去除阳极保护层；以及在完成去除阳极保护层后，进行盖板玻璃的封装和电路焊接。本发明可以制备出电极无腐蚀现象的硅基OLED微显示器。