[发明专利]一种新型半导体晶圆光刻涂布机吸头

摘要

本发明公开了一种新型半导体晶圆光刻涂布机吸头，其结构包括支架、控制箱、支杆、吸头，控制箱安装在支架顶部中心位置，支杆水平焊接在支架底面，由于少量的光刻胶易进入吸头的排气管中，随着吸取次数的增加，导致排气管内部的直径逐渐缩小，通过滑动装置与通过排气管的气体配合移动，通过推片将排气管内壁的光刻胶推动收集，减少光刻胶大量堆积在排气管内壁，有利于吸头的吸力强度保持不变，减少出现晶圆吸取过程中脱离吸头的现象，由于进胶孔的直径有限，光刻胶通过进胶孔时，易凝固在进胶孔内部，通过进胶孔内部的滑块与内壁配合，刮板将光刻胶清除，减少光刻胶凝固在进胶孔内部，有利于保持进胶孔畅通，加快光刻胶进胶速度。