[发明专利]纳米压印软模固定装置和纳米压印设备在审
| 申请号： | 202011152839.9 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112327576A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 臧法珩;赵东峰;王喆;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纳米压印软模固定装置和纳米压印设备，其中，纳米压印软膜包括压印部、及分设于压印部相对两端的两连接部，纳米压印软模固定装置包括：至少一限位杆组，包括相并行的两限位杆，每一限位杆具有用以供连接部绕接的弧形面；以及两牵引机构，分别与两连接部连接；压印部位于限位杆组的一侧，两牵引机构分别用以将连接部朝限位杆组的另一侧拉伸牵引，以使压印部张紧于限位杆组上。本发明技术方案旨在平整固定纳米压印软模，以提升纳米压印的图形转移质量。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 固定 装置 设备 | ||
【主权项】：
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