[发明专利]一种倒角机研削台治具的清洗方法在审
| 申请号： | 202011154319.1 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112517528A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 赵福见;贺贤汉;王琪琳;徐红林;李永丽 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14;B23D79/02 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及清洗领域。一种倒角机研削台治具的清洗方法，包括如下步骤：步骤一，清洗药液的配置；清洗药液包括100升纯水、5升氢氧化钠以及0.5升TSC‑1清洗剂；步骤二，将药液置入超声波清洗机，药液加热至45℃‑55℃，将研削台治具浸没在药液中超声波清洗25‑30分钟；步骤三，采用45℃‑55℃的纯水超声波清洗；步骤四，风干或用气枪吹干表面残留水迹；步骤五，研削台安装主轴平面擦拭干净；步骤六，安装研削台治具，安装时，确认同心圆的精度以及研削台的芯振面振。本专利可以彻底清洁研削台治具的表面污染，以及长期加工过程中研削台治具内部所存留的污垢及硅粉等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倒角 机研削台治具 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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