[发明专利]外延设备及其测温装置在审
| 申请号： | 202011155006.8 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112420473A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭雪娇;赵海洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;G01J5/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种外延设备及其测温装置，用于测量位于工艺腔室内的被测物体的温度，工艺腔室朝向测温装置的一侧设有测温窗，测温装置包括：红外测温部，所述红外测温部固定安装于所述工艺腔室之外，且沿所述测温窗的轴向，所述红外测温部的投影位于所述测温窗之外；反射部，所述反射部转动安装于所述工艺腔室之外，所述反射部可转动，以将所述被测物体辐射出，且穿过所述测温窗的红外辐射能量反射至所述红外测温部。上述技术方案可以解决目前温度测量设备通过电动滑轨安装，温度测量过程中，需要使温度测量设备位于基座上方，导致温度测量设备长期处于高温状态，造成温度测量设备的使用寿命严重下降的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 设备 及其 测温 装置 | ||
【主权项】：
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