[发明专利]一种低缺陷碲锌镉晶体的制备方法和装置在审

专利信息
申请号: 202011156086.9 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN113403689A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 姬荣斌;姜军;赵增林;陈少璠;赵文;庹梦寒;袁绶章;王静宇;刘永传;孔金丞 申请(专利权)人: 昆明物理研究所
主分类号: C30B29/48 分类号: C30B29/48;C30B11/00
代理公司: 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 代理人: 赛晓刚
地址: 650221 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种低缺陷碲锌镉晶体的制备方法和装置,该装置包括非等径的管式炉体、具有Cd分压容器的石英安瓿和pBN坩埚,所述非等径的管式炉体包括炉体外壳、不少于10段的加热温区以及加热温区之间的隔热板、炉膛上下两端的密封堵头和晶体生长支撑架,每个加热温区设有与电源连通的电极和电缆、温控开关及温度控制系统。该方法包括配料、合成、换管、装炉、晶体生长、降温、切片等步骤。本发明的装置能稳定、重复的进行碲锌镉单晶制备。利用该设备和方法已经制备出高质量、低缺陷的碲锌镉晶体,制备的碲锌镉片面积达到70mm×70mm;沉积相缺陷尺寸≤1μm,密度≤3000cm‑2;腐蚀坑密度≤5×105cm‑2
搜索关键词: 一种 缺陷 碲锌镉 晶体 制备 方法 装置
【主权项】:
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