[发明专利]一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011157568.6 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN112366228A 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 姜昱丞;黄根生;周鹏飞;殷凌煜 申请(专利权)人: 苏州科技大学
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/12;H01L29/36;G04G15/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 陶海锋
地址: 215011 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种基于钽酸钾表面电子气的自激励电阻计时器及其制备方法。以钽酸钾单晶材料为衬底,采用Ar+氩离子束轰击工艺,在钽酸钾表面产生氧空位,形成二维电子气层;通过改变Ar+轰击电压,调制二维电子气的载流子密度,得到对应的电阻随时间增长速率不同的自激励电阻计时器。经电学测量结果表明,该器件的电阻随时间线性增加,利用这种线性关系即可实现对时间的记录。在稳恒条件下,其具有固定的电阻增长速率,且可长时间保持。本发明提供的自激励电阻计时器性能稳定、结构简单,时间记录过程中无需电驱动,可广泛应用于电子芯片、智能器件等领域。
搜索关键词: 一种 基于 钽酸钾 表面 电子 激励 电阻 计时器 及其 制备 方法
【主权项】:
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