[发明专利]夹持装置及夹持装置的控制方法在审
| 申请号： | 202011158800.8 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112410745A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 江奇峰 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何辉 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种夹持装置及夹持装置的控制方法，该夹持装置包括第一夹持组件，所述第一夹持组件包括多个第一夹具；第二夹持组件，所述第二夹持组件包括多个第二夹具；驱动件，分别与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件连接；所述驱动件用于分别对所述第一夹具和所述第二夹具进行驱动；控制单元，用于当所述第一夹具的夹持时长大于预设时长时，通过控制所述驱动件使所述第二夹具对所述基板进行夹持；和/或当所述第二夹具的夹持时长大于所述预设时长时，通过控制所述驱动件使所述第一夹具对所述基板进行夹持。本发明的夹持装置及夹持装置的控制方法，可以提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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