[发明专利]一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机有效

专利信息
申请号: 202011159199.4 申请日: 2020-10-26
公开(公告)号: CN112289712B 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 王敕 申请(专利权)人: 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 代理人: 罗磊
地址: 215513 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种具有快速矫正功能的晶圆片转料装置及装片机,其包括X轴单轴驱动器、Y轴单轴驱动器、旋转电机、转盘和晶圆台,X轴单轴驱动器固定连接于工作台上,Y轴单轴驱动器设于X轴单轴驱动器上,且Y轴单轴驱动器和X轴单轴驱动器相互垂直,旋转电机设于Y轴单轴驱动器上,转盘固定连接于旋转电机上。本发明通过多方位调节和多工位同步工作设计,不仅使晶圆的方位调节在单工位完成,而且使得晶圆的矫正和上下料作业可以同步完成,大大地缩短了工作周期,提高了工作效率;通过分离式的转台设计,并经过弹性阻尼的缓冲作用,使得晶圆在快速矫正和的同时保持平稳不错位,装置稳定性高,加工精度高。
搜索关键词: 一种 具有 快速 矫正 功能 晶圆片转料 装置 装片机
【主权项】:
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