[发明专利]一种晶圆片的清洗装置在审
| 申请号： | 202011159689.4 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112387668A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张栖源;张文君;汪念念;刘淼 | 申请（专利权）人： | 江西点亮科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 335000 江西省鹰*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆片技术领域，尤其涉及一种晶圆片的清洗装置，一种晶圆片的清洗装置，包括底座，所述底座上一侧设有支柱，所述支柱顶端固定连接固定板，所述固定板底端设有固定箱，所述固定箱远离支柱一侧，所述固定板上一侧固定连接竖管，所述竖管一侧设有孔眼，所述竖管顶端设有出水管，所述出水管顶端活动连接喷头。能够有效地减少晶圆片表面过多的垃圾物，提高晶圆片表面清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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