[发明专利]测定用探测器以及形状测定装置在审
| 申请号： | 202011167886.0 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112729066A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 久保圭司;井上隆史;土居正照;冈崎信;臼井幸也;舟桥隆宪 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20;G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种测定用探测器以及形状测定装置，测定用探测器通过扫描测定物的表面来对测定物表面的三维形状等进行测定，具备：第1可动部，具有触针；第2可动部，能够在Z方向上移动地与第1可动部连结；第3可动部，能够在Z方向上移动地与第2可动部连结；第1位置测定部，测定第1可动部在Z方向上的第1位置；第2位置测定部，测定第2可动部在Z方向上的第2位置；第3位置测定部，测定第3可动部在Z方向上的第3位置，第1相对位置基于第1位置和第2位置来计算，第2相对位置基于第1位置和第3位置来计算，第2可动部相对于第1可动部的Z方向上的第1相对位置和第3可动部相对于第1可动部的Z方向上的第2相对位置被维持为固定。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 探测器 以及 形状 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下知识产权经营株式会社，未经松下知识产权经营株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011167886.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
