[发明专利]光刻机硅片台移动装置

摘要

本发明公开了光刻机硅片台移动装置，包括支撑平台，所述支撑平台的下表面固定安装有辅助支撑腿，所述支撑平台的上表面固定安装有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面开设有第一条形槽，所述第一条形槽的内壁转动连接有第一滚轴，所述第一滚轴的表面搭接有硅片台，所述硅片台的上表面开设有放置槽。该光刻机硅片台移动装置，通过设置第一支撑板、压板、第一滚轴和第二滚轴，利用第一支撑板上的第一滚轴和压板上的第二滚轴夹紧硅片台，当硅片台在丝杠的带动下移动时，由于硅片台的上下两表面分别与第一滚轴和第二滚轴滚动连接，与滑动连接相比较，减少了第一滚轴、第二滚轴和硅片台之间的磨损，提高了硅片的加工精度。