[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法在审
申请号: | 202011170199.4 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN112750892A | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 长谷川尚;小山威;加藤伸二郎;川端康平 | 申请(专利权)人: | 艾普凌科有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及半导体装置及半导体装置的制造方法。半导体装置(100)具有:半导体衬底(1);场效应晶体管(120),其配置于半导体衬底(1)上,并且用于模拟电路,具备P型栅电极(7);层间绝缘膜(8),其配置于场效应晶体管(120)上;以及氢阻挡金属膜(10),其在层间绝缘膜(8)上配置于P型栅电极(7)的上方附近,对氢进行阻挡。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾普凌科有限公司,未经艾普凌科有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011170199.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类