[发明专利]压电感应组件及其制造方法有效
申请号: | 202011171242.9 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN112366272B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 叶颖隆;张志鹏 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/27 | 分类号: | H01L41/27;H01L41/293;H01L41/047;H01L41/083 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本申请涉及压电感应组件及其制造方法,压电感应组件的制造方法包括步骤:提供多层结构;激光开孔形成至少二激光孔槽,每一激光孔槽贯穿压电薄膜层、粘接层及二导体层且达到预定的导体层,且于压电薄膜层处形成热效应区,于与预定的导体层极性相异的导体层处形成绝缘区;在激光孔槽中填入填充导体以导通极性相同的导体层。额外增设了用于连接柔性电路板的贯穿式填充导体,有利于以大排版方式制作压电感应组件,可有效减少制作工时,并降低生产成本;以大排版方式设计单个压电感应组件的电极的激光孔槽填成电极,可以仅连接一柔性电路板,提升了邦定成功率;利用了激光开孔的热效应,当作绝缘区对电极进行区隔,避免电极接触到不同极性的导体层。 | ||
搜索关键词: | 压电 感应 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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