[发明专利]废气处理装置及半导体设备有效
| 申请号： | 202011172306.7 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112452074B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李苗苗;赵佳彬 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/30 | 分类号： | B01D46/30;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种废气处理装置及半导体设备，废气处理装置包括处理腔体、过滤组件、支撑组件和抽气部件，支撑组件设置在处理腔体中，将处理腔体的内部空间分为第一处理腔和第二处理腔；支撑组件上设有供废气通过的通气结构，废气通过抽气部件从第一处理腔经过通气结构向第二处理腔流动；处理腔体上设置有进气结构和排气结构，进气结构与第一处理腔连通，排气结构与第二处理腔连通；过滤组件设于支撑组件上且位于第二处理腔中，包括多个相互堆叠的固体填料，固体填料用于对由废气产生的污染物进行过滤。本发明提供的废气处理装置及半导体设备能够降低过滤组件更换的频率，从而能够降低废气处理装置的使用成本，并提高半导体设备的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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