[发明专利]掩膜板与掩膜板组件有效
| 申请号： | 202011172445.X | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112281113B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 刘华猛;沈阔;白珊珊;王伟伟;刘佳宁;王蓓;张智辉 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种掩膜板与掩膜板组件，该掩膜板包括：刻蚀区、焊接区、开孔区以及无刻蚀区。刻蚀区，包括相背的第一端与第二端；焊接区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端；开孔区，至少形成于所述刻蚀区的第一端或第二端，且位于所述焊接区背离所述刻蚀区的一侧，所述开孔区包括多个第一开孔；无刻蚀区，位于所述刻蚀区的所述第一端与所述第二端，且位于所述开孔区背离所述刻蚀区的一侧。本公开提供的掩膜板，改善了刻蚀区的褶皱情况，减少了出现蒸镀阴影及混色的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
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