[发明专利]改善面板的冷却系统水流虚假报警的方法和半导体处理设备有效
| 申请号： | 202011172510.9 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112240728B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 游明木;李昭;王晓晨;卢山;涂伟峰;谢百强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F28F27/02 | 分类号： | F28F27/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 高园园 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种改善冷却系统水流虚假报警的方法和半导体处理设备，属于半导体集成电路制造设备领域，用于改善冷却系统水流虚假报警的问题。所述改善冷却系统水流虚假报警的方法，所述面板的冷却系统内安装有常开阀门和常闭阀门，所述常开阀门和/或所述常闭阀门由流体驱动启闭，在所述常开阀门和/或所述常闭阀门的本体或其流体供应管道上设置自动泄压结构。本发明方法和半导体处理设备可以使常开阀门和常闭阀门开关速度可以长期保持稳定，而且可以极大降低面板水流虚假报警出现的频率，提高机台正常工作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 面板 冷却系统 水流 虚假 报警 方法 半导体 处理 设备 | ||
【主权项】：
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