[发明专利]椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质有效
| 申请号： | 202011178181.9 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112326561B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘艺;赵东峰;彭旭;董立超;朱春霖;刘宝山;艾立夫 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01B11/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种椭偏仪及其测试方法、装置、计算机存储介质，椭偏仪包括：光源；分束器，分束器位于光源的出光侧，以将光源发出的光线分成第一子光线以及第二子光线；入射光调整组件，入射光调整组件位于第一子光线的出射光路上，用于将第一子光线调整为处于第一偏振态的偏振光；测试台用于放置待测样品；出射光调整组件，出射光调整组件位于测试台的出光侧，用于将待测样品的出射光线调整为处于第二偏振态的偏振光；第一探测器，第一探测器位于出射光调整组件的出光侧，用于采集处于第二偏振态的偏振光的光学参数；第二探测器，第二探测器位于第二子光线的出射光路上，用于采集第二子光线的光学参数。本发明旨在提高椭偏仪测试结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 椭偏仪 及其 测试 方法 装置 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】：
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