[发明专利]一种红外透明陶瓷晶粒尺寸的测量方法有效
| 申请号： | 202011178769.4 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112454014B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 张春雨;李国;刘晗;赵清亮;宋成伟;张海军;黄滟荻;刘世忠;高林 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B49/12 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 苟莉 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种红外透明陶瓷晶粒尺寸的测量方法，包括步骤1：将平片状红外透明陶瓷样品粘贴在抛光机的可旋转的工件台上、将可旋转的柔性抛光垫压在样品表面上对其进行抛光，且抛光垫对工件的压力可调；步骤2：用白光干涉仪对抛光后的红外透明陶瓷样品表面进行三维形貌检测，选用放大10倍的镜头，对样品抛光表面进行表面三维形貌检测；本发明面向红外透明陶瓷大晶粒尺寸的材料特点，根据抛光过程中抛光材料去除量与晶粒尺寸之间的尺寸效应关系，使抛光后的红外透明陶瓷材料表面的晶粒间存在明显的高度差橘皮效应，根据白光干涉仪的成像特点，在光学显微镜下实现红外透明陶瓷材料平均晶粒尺寸的统计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 透明 陶瓷 晶粒 尺寸 测量方法 | ||
【主权项】：
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