[发明专利]蒸镀装置和显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 202011180807.X | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112779499A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 上村孝明;平田教行;水越宽文 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本显示器 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54;H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 邸万杰;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种基板与蒸镀掩模的间隙的调节时间缩短的蒸镀装置和显示装置的制造方法。此外，本发明提供一种蒸镀工序中的不良情况减少的蒸镀装置和显示装置的制造方法。显示装置的制造方法使用蒸镀掩模向基板蒸镀有机材料，其中，与基板相对地配置蒸镀掩模，检测第一位置的基板与上述蒸镀掩模之间的第一间隙(l |
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| 搜索关键词： | 装置 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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