[发明专利]一种反应磁控溅射分离式布气法

摘要

本发明公开了一种反应磁控溅射分离式布气法，包括气体流量控制仪、密封箱、磁控溅射等离子体物理面基本挡板、被溅射玻璃基片，所述气体流量控制仪下端连接有所述密封箱，所述气体流量控制仪前端设置有气体流量显示窗口，所述气体流量控制仪一侧设置有进气管，所述进气管出气端连接气体流量计，所述气体流量计通过连接头连接气体通断电磁阀，所述气体通断电磁阀通过连接管连接栾生对靶布气分流三通，所述栾生对靶布气分流三通两端均连接有气体输入管，所述气体输入管出气端连接迷宫布气装置。本发明解决了反应磁控溅射镀膜传统混合气体输入法所存在的溅射速率较低、靶表面易结瘤的问题。