[发明专利]成膜装置有效

专利信息
申请号: 202011190180.6 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112746252B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 松本行生 申请(专利权)人: 佳能特机株式会社
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 刘杨
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供能够实现维护性的提高的成膜装置。该成膜装置的特征在于,具备:靶单元(100),设置在腔室内,具有靶(110);端块(200),具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的一端侧的轴承功能;以及支承块(300),具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的另一端侧的轴承功能,用于使靶单元(100)旋转的驱动力从端块(200)内与靶单元(100)连接,供给于靶单元(100)的冷却液与施加于靶(110)的电压从支承块(300)内与靶单元(100)连接。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
暂无信息
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