[发明专利]成膜装置有效
申请号: | 202011190180.6 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112746252B | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 松本行生 | 申请(专利权)人: | 佳能特机株式会社 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供能够实现维护性的提高的成膜装置。该成膜装置的特征在于,具备:靶单元(100),设置在腔室内,具有靶(110);端块(200),具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的一端侧的轴承功能;以及支承块(300),具有靶单元(100)的旋转中心轴线方向的另一端侧的轴承功能,用于使靶单元(100)旋转的驱动力从端块(200)内与靶单元(100)连接,供给于靶单元(100)的冷却液与施加于靶(110)的电压从支承块(300)内与靶单元(100)连接。 | ||
搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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