[发明专利]一种高效沉积派瑞林膜层的方法

摘要

本发明涉及派瑞林镀膜技术领域，具体公开了一种高效沉积派瑞林膜层的方法，包括以下步骤：第一步：设置一个以上的蒸发室、一个以上的裂解室、一个镀膜腔室以及一个真空获得与冷却捕集系统；第二步：将派瑞林原材料投入蒸发室，将蒸发室与裂解室升温；第三步：利用真空获得与冷却捕集系统对蒸发室、裂解室及镀膜腔室进行抽气；第四步：将蒸发室继续升温，计算机实时监控蒸发室与裂解室之间的压力值；第五步：在镀膜过程中，计算机实时监控镀膜腔室内的压力值、蒸发室与裂解室之间的压力值、裂解室与镀膜腔室之间的压力值，控制多套蒸发室以及裂解室的升温、降温速率；本发通过增加蒸发室与裂解室的数量，可有效提升派瑞林膜层的沉积速率。