[发明专利]多工位双室镀膜机在审
| 申请号： | 202011194000.1 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112342521A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;杨恒;金诚明;祝海生;梁红;孙桂红;黄乐;黄国兴 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多工位双室镀膜机，多工位双室镀膜机包括第一工件台、第二工件台、流转台、处理室、镀膜室以及多个承载架，所述第二工件台与所述第一工件台的一侧连通，所述第一工件台的另一侧与所述流转台的一侧连通，所述流转台的另一侧与所述处理室连通，所述处理室远离所述流转台的一侧与所述镀膜室连通，所述承载架用于承载工件并在所述多工位双室镀膜机内流转，所述流转台用于将承载架输入至所述处理室中对工件进行处理，所述处理室用于在对所述工件进行处理后输入至镀膜室内进行镀膜。本发明提供了一种能够多工位上下料的镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 多工位双室 镀膜 | ||
【主权项】：
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