[发明专利]微机电系统及其制造方法在审
| 申请号： | 202011194524.0 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112744779A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈扬哲;梁其翔;林振华;刘醇明;曾皇文;邓伊筌 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及一种微机电系统(MEMS)包括电路衬底，设置在电路衬底上方的第一MEMS结构以及设置在第一MEMS结构上方的第二MEMS结构。本发明的实施例还涉及制造微机电系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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