[发明专利]一种半导体制备用清洗装置在审
| 申请号： | 202011197695.9 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112452877A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 林淑毜 | 申请（专利权）人： | 广州夕千科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;B03C3/017;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 田春龙 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，且公开了一种半导体制备用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱下表面的四角均固定连接有固定底座，所述清洗箱的正面设置有门板，所述门板的正面固定连接有操作把手，所述清洗箱的内底部固定连接有固定板，所述固定板上表面的左右两侧均设置有移动转动装置，所述移动转动装置的内侧设置有夹持装置。该半导体制备用清洗装置，通过驱动电机驱动转动盘带动滑动柱向内移动移动半导体进行夹持固定，对半导体具有更好的固定效果，能够更好的对半导体表面进行全方位均匀的清洗，有效降低对导体的清洗死角，有利于更好的对半导体进行清洗，提高对半导体的清洗效果，有利于使用便利性的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 制备 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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