[发明专利]对量测数据的贡献的分离有效
| 申请号： | 202011207943.3 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN112255892B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | W·T·特尔;F·斯塔尔斯;M·J·马斯洛;R·阿努西亚多;M·乔彻姆森;H·A·J·克拉默;T·希尤维斯;P·C·欣南 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及对量测数据的贡献的分离。一种方法，包括：通过组合由图案化工艺处理的衬底上的第一变量的指纹和第一变量的特定值，来计算衬底的图案的或针对衬底的图案的第一变量的值；以及至少部分基于第一变量的所计算的值来确定图案的第二变量的值。 | ||
| 搜索关键词： | 数据 贡献 分离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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