[发明专利]连续镀膜设备和连续镀膜方法在审
| 申请号： | 202011218185.5 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112281135A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 | 代理人： | 罗京;郑盈 |
| 地址： | 214112 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一连续镀膜设备和连续镀膜方法，其中所述连续镀膜设备包括一辅助腔体和一工作腔体，通过对于所述辅助腔体预抽真空可以使得样品自所述辅助腔体被直接运输至所述工作腔体，所述工作腔体由于不需要和外部环境连通因此可以维持在预设的真空度，从而使得整个镀膜过程连续化。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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