[发明专利]一种高精度微细线条射频器件制作方法在审
| 申请号： | 202011220499.9 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112312670A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 何荣云 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 耿英 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度微细线条射频器件制作方法，采用LTCC厚膜工艺制作射频器件时，在生瓷上进行打孔、通孔填充和丝网印刷图形，丝网印刷的图形的大小为设计图形的外框向外偏移第一设定距离，对丝网印刷后的图形进行膜层激光扫描，扫描范围为丝网印刷的图形边界向外偏移第二设定距离，将该扫描范围内印刷的非设计图形的导体全部去除，形成需要的设计图形。本方法适合于制造具有精细线条，线宽和线间距均大于30μm小于100μm的基板及元器件；适合制造对层间对位有较高要求的巴伦等器件；线条宽度及线条间距具有更高的精度，加工一致性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 微细 线条 射频 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
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