[发明专利]卡匣的检测装置及检测方法，基板加工生产线有效
| 申请号： | 202011228419.4 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112362004B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 潘柏松;叶利丹 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/08;G01B11/00;G01B11/06;G08B21/18 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 晏波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开一种卡匣的检测装置及检测方法、基板加工生产线，其中，卡匣的检测装置包括检测器和报警器，所述检测器用于检测所述支撑柱是否处于预设位置；所述报警器用于在所述检测器检测到所述支撑柱偏离所述预设位置时发出警报。本申请的卡匣的检测装置具有检测精度高、检测效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 加工 生产线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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