[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统及方法在审
申请号: | 202011237059.4 | 申请日: | 2020-11-09 |
公开(公告)号: | CN112458463A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 欧阳锋;邰康乾;龙正 | 申请(专利权)人: | 江苏净拓环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C7/00;C25C1/12;C25C7/06;C25C7/02;C25C7/04 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄珩 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统,包括离子膜电解循环系统、氯气吸收系统和再生液调配监控系统;离子膜电解循环系统构造为溶液循环回路,包括电解系统;氯气吸收系统包括氯气处理缸和碱液池、氯气处理塔二级吸收系统;氯气处理缸和碱液池分别通过射流器产生的负压将氯气吸走并通入低ORP蚀刻药液和碱性溶液中;ORP监控仪,通过控制电解蚀刻液的ORP值以控制氯气的产生。本发明中通过控制电解蚀刻液的ORP值,有效的控制氯气的产生,使一价铜离子变为二价铜离子,恢复蚀刻能力,完全返回生产,降低甚至是取消生产所用的氧化剂,节约生产物料,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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