[发明专利]衬底支撑板、包括它的衬底处理设备以及衬底处理方法在审
| 申请号： | 202011237367.7 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112992637A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 金大渊;金材玹;李承桓 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种能够选择性地在其斜角区域中处理薄膜的衬底处理设备包括用于支撑待处理衬底的衬底支撑板，衬底支撑板包括：内部，其上表面的面积小于待处理衬底的面积；以及围绕内部的外围部分，其中外围部分的上表面在内部的上表面下方。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支撑 包括 处理 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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