[发明专利]一种真空存储柜的真空系统在审

专利信息
申请号: 202011239631.0 申请日: 2020-11-09
公开(公告)号: CN112455925A 公开(公告)日: 2021-03-09
发明(设计)人: 安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路 申请(专利权)人: 合肥真萍电子科技有限公司
主分类号: B65D81/20 分类号: B65D81/20;B65D85/86
代理公司: 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 代理人: 方荣肖
地址: 230091 安徽省合肥市经济技术开发区习友*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种真空存储柜的真空系统,包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路,粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路,另一方面分别对应连接有粗、精抽泵;控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求,避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费,满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
搜索关键词: 一种 真空 存储 系统
【主权项】:
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