[发明专利]一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法

摘要

本发明提供了一种micro LED芯片的光疗仪治疗头的制备方法，包括以下步骤：a)在蓝宝石衬底上依次沉积牺牲层和外延层，得到层结构；b)将步骤a)得到的层结构进行图形化，并根据图形化要求剥离外延层，得到剥离好外延层的结构；c)将步骤b)得到的剥离好外延层的结构进行芯片制作并将其与线路板连接，再将蓝宝石衬底分离，得到固定在电路板上的芯片；d)将步骤c)得到的固定在电路板上的芯片封装，得到micro LED芯片的光疗仪治疗头。与现有技术相比，本发明提供的制备方法解决了目前micro LED芯片巨量转移困难的问题，效率高；同时省去了光疗仪复杂的匀光结构，提高光疗仪光照剂量的均匀度，减薄了光疗仪的厚度。