[发明专利]一种将抛光垫的初始状态转变为亲水性的方法和装置有效
| 申请号： | 202011256546.5 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112372509B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 赵晟佑 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/20;B24B37/30;B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种将抛光垫的初始状态转变为亲水性的方法和装置；该方法可以包括：将新抛光垫粘贴至抛光机台的下定盘后，将符合设定硬度以及粗糙度材质制成的转换用晶圆置于抛光头的组装式吸附垫中；利用所述新抛光垫对所述转换用晶圆进行抛光作业；当所述新抛光垫对设定数目的转换用晶圆完成抛光作业后，所述新抛光垫的表面状态转变为亲水性状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 初始 状态 转变为 亲水性 方法 装置 | ||
【主权项】：
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