[发明专利]蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202011264184.4 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112410731B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;梁舰;陈晓;陈敏;武启飞 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备自动开关门控制方法、开门装置及蒸镀设备。其中，所述蒸镀设备自动开关门控制方法，包括如下步骤：向第一电控门施加一个压向密封腔室方向的压力F3；向密封腔室内充入惰性气体，其中，密封腔室内的惰性气体作用在第一电控门上的压力F4小于F3和F1之和；当密封腔室内的惰性气体作用在第二电控门上的压力F5近似等于F2后，控制第二电控门开门。通过上述蒸镀设备自动开关门控制方法，实现双自动开关门型蒸镀设备开门顺序可控，在手套箱侧有更高气压时，保障大气侧腔门的水氧无法进入腔体及手套箱，提高器件制备及封装的稳定性，避免密封腔室暴露于大气中。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 自动开关 门控 方法 开门 装置 | ||
【主权项】：
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