[发明专利]一种氧化镍基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法在审
申请号: | 202011266667.8 | 申请日: | 2020-11-13 |
公开(公告)号: | CN112321280A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 高明;张虎;张花蕊;杨本润 | 申请(专利权)人: | 北京航大微纳科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/01 | 分类号: | C04B35/01;C04B35/622 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种氧化镍基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法,包括以下步骤:A原料准备;B制备预混液;C制备高流动性浆料;D制备素坯;E素坯脱胶:将素坯进行梯度升温,随炉冷却,得到脱胶后的坯料;F烧结:将坯料进行真空梯度烧结,第一梯度温度650‑800℃,升温速度不高于1.5℃/min,保温时间不低于2小时;而后升温至第二梯度温度900‑1200℃,升温速度不高于1℃/min,保温时间不低于5小时,冷却成型;G机加工:根据需要进行或不进行机加工。该种制备方法能制备出导电性良好、纯度较高、晶粒尺寸细小的氧化镍基陶瓷靶材材料,且该种制备方法操作简便、成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 陶瓷 材料 凝胶 成型 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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