[发明专利]电子显微镜台在审
| 申请号： | 202011268917.1 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112820615A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | A·维舍尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 史婧;王玮 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于电子显微镜的定位系统，包括：第一托架和第二托架，所述第一托架包括用于固持工件的固持器。所述第一托架联接到一个或多个第一驱动单元，所述一个或多个第一驱动单元被配置成沿第一轴线、第二轴线和第三轴线并且沿第一倾斜轴线定位所述工件。所述第二托架容纳所述一个或多个第一驱动单元，并且联接到一个或多个第二驱动单元，所述一个或多个第二驱动单元被配置成沿第二倾斜轴线定位所述工件。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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