[发明专利]一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法有效

专利信息
申请号: 202011275352.X 申请日: 2020-11-16
公开(公告)号: CN112358194B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 彭寿;蒋洋;官敏;宋晓贞;倪植森;张少波;许波;杨金发;李俊琛 申请(专利权)人: 凯盛科技集团有限公司;凯盛科技股份有限公司蚌埠华益分公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 叶春娜
地址: 100000 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法,包括:若干玻璃夹持架,若干所述玻璃夹持架包括两端设置的夹持盘,两侧所述夹持盘的瀑布流挡板槽内通过挡流板相连接;统一操动机构,若干所述活动轴均活动插设在同一根牵拉连杆上;减薄刻蚀箱,若干所述玻璃夹持架两端通过密封轴承活动安装在减薄刻蚀箱两侧;瀑布流喷淋板,所述瀑布流喷淋板底部阵列式安装有若干喷淋头,本发明通过若干玻璃夹持架的夹持,能够进行直立式浸泡刻蚀和瀑布流式刻蚀法,通过在待检测玻璃两侧安装挡流板,使得待刻蚀玻璃两侧与挡流板形成的缝隙处,克服了瀑布流法无法进行双侧刻蚀的缺陷,大大提高了刻蚀的质量,提高了装置的使用范围。
搜索关键词: 一种 玻璃 刻蚀 装置 方法
【主权项】:
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