[发明专利]一种用于制造半导体的化学品供应系统及其净化方法在审
| 申请号： | 202011286742.7 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112283587A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 戴志超;叶国梁;沈琦 | 申请（专利权）人： | 江苏雅克福瑞半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08;F17D3/01 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张超 |
| 地址： | 214200 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造半导体的化学品供应系统，包括完全相同的至少两套供应设备以及和每套供应设备化学药品罐的出液口连接的沉积腔，每套供应设备包括一个用于储存需要进行沉积的化学药品的化学药品罐，化学药品罐的进气口和出液口间有第一桥接管，并在第一桥接管上设置第一三通阀，三通阀的第三个接口连接另一个化学药品罐第一桥接管处第一三通阀的对应接口，化学药品罐的进气口通过管路连接增压器，化学药品罐到增压器的管路上到化学药品罐到沉积腔的管路上设有第二桥接管，第二桥接管上的第二三通阀的第三个接口和另一个化学药品罐第二桥接管处第二三通阀的对应接口连接。本发明还公开了此种净化系统的净化方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 半导体 化学品 供应 系统 及其 净化 方法 | ||
【主权项】：
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