[发明专利]弱点缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202011294204.2 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112557884A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 袁增艺 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/311 | 分类号： | G01R31/311 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张彦敏 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及弱点缺陷检测方法，包括对晶圆缺陷扫描获得缺陷数据分布图；同时获得最小光学对比图，进行最小光学对比图与原始设计版图匹配，得到原始设计版图中对应于缺陷数据分布图中的缺陷的缺陷数据，将相同的原始设计版图缺陷数据归类为一个缺陷类型，得到N个缺陷类型，并得到每个缺陷类型的缺陷个数；对N个缺陷类型按缺陷个数进行排序，根据排序筛选出缺陷个数最多的M个缺陷类型；对筛选出的M个缺陷类型进行原始设计版图搜索，检测出M个缺陷类型中每个缺陷类型的所有缺陷的缺陷位置，生成每个缺陷类型的所有的缺陷位置的扫描区域；观测生成的每个缺陷类型的所有的缺陷位置的扫描区域扫描出的缺陷，确定真实的缺陷类型。 | ||
| 搜索关键词： | 弱点 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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