[发明专利]探针头连接方法在审
| 申请号： | 202011295154.X | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114518472A | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 杨高山;林景立 | 申请（专利权）人： | 致茂电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭化雨 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种探针头连接方法，包含以下步骤。首先，于探针头与针测机之间，设置载板与测试夹具，测试夹具设置于针测机中，且测试夹具用以容置载板。启动探针头的吸真空功能，并且移动探针头以对位测试夹具。接着，移动探针头至接触测试夹具中的载板。最后，以至少一卡合件以固定探针头与测试夹具。其中载板用以直接对接晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 连接 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于致茂电子（苏州）有限公司，未经致茂电子（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011295154.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
