[发明专利]GaN基探测器在审
申请号: | 202011296081.6 | 申请日: | 2020-11-18 |
公开(公告)号: | CN112420856A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 杨天鹏;康建;郑远志;陈向东 | 申请(专利权)人: | 马鞍山杰生半导体有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/105 |
代理公司: | 北京华智则铭知识产权代理有限公司 11573 | 代理人: | 沈抗勇 |
地址: | 243000 安徽省马鞍*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及探测器技术领域,且公开了GaN基探测器,包括衬底、GaN缓冲层、n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层,所述衬底、GaN缓冲层、n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层从下至上依次连接设置,所述n型欧姆层上设置有n型接触层,所述p型欧姆层上设置有p型接触层,所述n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层外覆盖有一层钝化层,所述本征型GaN有源层和p型欧姆层为锥台形结构。本发明增强了欧姆接触性能,保证了探测器的稳定性和响应速度。 | ||
搜索关键词: | gan 探测器 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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