[发明专利]GaN基探测器在审

专利信息
申请号: 202011296081.6 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN112420856A 公开(公告)日: 2021-02-26
发明(设计)人: 杨天鹏;康建;郑远志;陈向东 申请(专利权)人: 马鞍山杰生半导体有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/105
代理公司: 北京华智则铭知识产权代理有限公司 11573 代理人: 沈抗勇
地址: 243000 安徽省马鞍*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及探测器技术领域,且公开了GaN基探测器,包括衬底、GaN缓冲层、n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层,所述衬底、GaN缓冲层、n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层从下至上依次连接设置,所述n型欧姆层上设置有n型接触层,所述p型欧姆层上设置有p型接触层,所述n型欧姆层、本征型GaN有源层和p型欧姆层外覆盖有一层钝化层,所述本征型GaN有源层和p型欧姆层为锥台形结构。本发明增强了欧姆接触性能,保证了探测器的稳定性和响应速度。
搜索关键词: gan 探测器
【主权项】:
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