[发明专利]一种扩散一拖一自动上下料系统在审
| 申请号： | 202011297370.8 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112420571A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;姚正辉;裴维维;马力;时祥;张峥水 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光伏组件生产设备技术领域，具体涉及一种扩散一拖一自动上下料系统，旨在解决现有技术中自动化程度低形成的问题，其技术要点在于：包括分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构组成，所述分合片和石英舟搬运机构、石英舟输送机构及导片机机构沿长度方向依次排列设置。实现了高度自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 一拖一 自动 上下 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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