[发明专利]一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统在审
| 申请号： | 202011306324.X | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112374503A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 金向华;徐聪;孙猛;王新喜 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D53/46;B01D53/68;B01D53/75;B01D53/81 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了高纯四氟化硅的纯化方法，包括：S1)将纯度为99.9％的四氟化硅粗品经氟化剂吸附处理后，得到除去氟硅醚后的气体；所述氟化剂为负载型过渡金属氟化盐；S2)将所述除去氟硅醚后的气体在活性炭存在的条件下与碳酰氯反应，得到除水后的气体；S3)将所述除水后的气体进行低温精馏，得到高纯四氟化硅。与现有技术相比，本发明将粗品四氟化硅通过金属氟化盐以及碳酰氟双重作用，先经吸附氟化，然后低温精馏的方法，除去氟硅醚化合物杂质和水分，该方法可实现四氟化硅产物的提纯，可有效除去四氟化硅中的氟硅醚杂质和水分，产品检测纯度可达5N，未检出氟硅醚杂质，产物水分含量低于10ppb。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 氟化 气体 纯化 方法 系统 | ||
【主权项】：
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