[发明专利]一种TC-SAW滤波器制造方法在审
| 申请号： | 202011320101.9 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112448687A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 桂华青;张江浩 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种TC‑SAW制造方法，包括：基板预处理、正面镀金属膜、背面镀金属膜、涂光刻胶、曝光、显影、沉积IDT、剥离光刻胶、沉积第一介质层、第一介质层减薄、沉积第二介质层、第二介质层减薄、探针测量、刻蚀背面金属膜等步骤。根据本发明的方法可减少工艺流程，提高良率，并可使得IDT电极宽度均匀、形貌更好，器件也可以得到更好的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tc saw 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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