[发明专利]一种忆阻器件的阻抗谱测试与拟合方法有效
| 申请号： | 202011343909.9 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112485529B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王德君;白娇;李月;谢威威;李苏洋 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 王树本;徐雪莲 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子技术与半导体器件技术领域，一种忆阻器件的阻抗谱测试与拟合方法，其中，测试方法，包括以下步骤：(1)自制测量夹具，(2)连接阻抗分析仪与测试探针台，(3)设置阻抗分析仪测量环境，(4)忆阻器件低阻态阻抗谱的测试，(5)忆阻器件高阻态阻抗谱的测试。拟合方法，包括以下步骤：(1)确定忆阻器件阻抗谱的等效电路模型，(2)获得忆阻器件阻抗谱等效电路中各元件参数，(3)导出Zview软件中的原始数据与拟合数据到origin中作图。本发明可以快速获得忆阻器件的阻抗谱，为忆阻器件薄膜微结构的研究提供了测试与分析手段，可丰富忆阻系统物理机制理论及开关机制的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 阻抗 测试 拟合 方法 | ||
【主权项】：
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