[发明专利]一种监控曝光机曝光能量的装置在审
申请号: | 202011348478.5 | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112255898A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 韩少华;王健;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请(专利权)人: | 江苏上达电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人: | 张帅 |
地址: | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种监控曝光机曝光能量的装置,属于线路板制造技术领域。包括曝光灯、干板平台区域、曝光后传输装置、承载产品平台、曝光测量仪器平台和处理控制传输器,所述的曝光灯设置在干板平台区域的上方,曝光后传输装置设置在干板平台区域下方,承载产品平台设置在曝光后传输装置的下方,曝光后传输装置和承载产品平台的中间设置曝光测量仪器平台,曝光测量仪器平台连接处理控制传输器,曝光测量仪器平台对曝光灯的曝光量进行收集。本发明的有益效果是:曝光检测仪器可以通过对曝光能量的监控,控制曝光能量的问题,造成批量的线路不良问题。减少人为的去检测曝光能量,实现检测自动化。 | ||
搜索关键词: | 一种 监控 曝光 能量 装置 | ||
【主权项】:
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