[发明专利]一种用于ESD防护电路的多指型GGNMOS器件及其制作方法

摘要

本发明提出了一种用于ESD防护电路的多插指GGNMOS器件，包括衬底；形成于衬底上的器件区，所述器件区内包括多个NMOS器件，位于所述器件区一侧的体接线区，位于所述器件区外部的条形多晶硅电阻，每个所述NMOS器件的栅极接在该条形多晶硅电阻的不同位置上，距离所述体接线区越近的NMOS器件的栅极接地电阻越大。通过让各个寄生NPN管的栅极接入该条形多晶硅电阻的不同位置从而获得不同的电阻，利用ESD脉冲下的RC耦合抬起栅极电压，提供不同的沟道电流进行补偿辅助触发GGNMOS，当发生静电放电时，可以使GGNMOS中的每个插指同时开启。本发明还提出了上述器件的制作方法。