[发明专利]一种用于化学镀或清洗的装置及方法在审
| 申请号： | 202011393142.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112495926A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 许书鸣;萧标颖;王彦智 | 申请（专利权）人： | 盛青永致半导体设备（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B13/00;C23C18/31 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学镀或清洗的装置及方法。该装置包括槽体及可脱离地插设于槽体中的产品放置架，装置具有工作状态，当装置在工作状态时，产品放置架插设在槽体中，产品放置架的一侧形成第一腔体，产品放置架的另一侧形成第二腔体，第一腔体和第二腔体能够通过产品上的通孔连通；装置还包括：液流机构，其具有进液口和排液口；第一腔体及第二腔体中的一者和进液口连通，另一者和排液口连通；当装置在工作状态时，第一腔体和第二腔体之间具有压力差。本发明针对具有高深宽比的通孔的产品的化学镀及清洗，解决了化学镀液或清洗液难以进入高深宽比的通孔内的难题，提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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